Opis proizvoda
Silikonski nitridTanki filmovi imaju gustu strukturu, visoku čvrstoću i dobru otpornost na habanje, a mogu se koristiti kao strukturne komponente u MEMS uređajima. Youngov modul i tvrdoća filmova silicija nitrida testirani su metodom PECVD -a, a efekti temperature taloženja i omjera protoka reakcijskog plina na Youngov modul i tvrdoću filmova analizirani su. Film silikonskog nitrida korišten je kao ovjesni snop za izradu RF MEMS sklopki.
Parametri proizvoda
| Razred | N | Si | Ca min | O min | C min | Al Min | Fe min |
| Si3n 485-99 | 32-39 | 55-60 | 0.25 | 1.5 | 0.3 | 0.25 | 0.25 |
Slika suradnje proizvoda
1.Silikonski nitridKeramika su visokotemperaturne i strukturne keramike visoke čvrstoće sa širokim izgledima za razvoj. Ima visoke performanse (kao što su visoka čvrstoća, dobra toplinski udarni stabilnost, velika žilavost umora, visoka čvrstoća savijanja na sobnoj temperaturi, otpornost na habanje, otpornost na oksidaciju, otpornost na koroziju itd.), A široko se koristi u svim slojevima života. Metode pripreme silicij -nitrida uglavnom uključuju reakcijsko sintering (RS), sinteriranje vrućeg tlaka (HPS), sinteriranje atmosferskog tlaka (PLS) i sintering pneumatskog tlaka (GPS). Trenutno je glavni problem što keramički proizvodi silicij nitrida imaju nisku žilavost i visoke troškove. U budućnosti je potrebno poboljšati procese glodanja, oblikovanja i sinteriranja i sastavljanje silicij -nitrida i silicij -karbida za razvoj bolje keramike silicija nitrida.
Popularni tagovi: Metalni nitrid na visokoj razini, Kineski proizvođači silicija nitrida na visokoj razini, dobavljači, tvornice